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예전에 반도체 분야에서 연구했는데, 그 바탕은 공정분야의 Etch(식각)였네요. 감광액을 직접 다루는 공정을 포토(Photo)라고 불렀는데, 그쪽 분야는 책만 몇 권을 읽었지 직접 장치를 운용한 적은 없었네요. 나중에 소자개발로 부서를 옮겼는데, 공정개발로부터 더욱 멀어진 계기가 되었죠.  

어쨌든, 반도체 분야에서 일해본 분이라면 다들 아시겠지만, 포토와 에치는 엄청 싸웁니다. 그래서 에치쪽에서 일했던 당시의 저로서는, 감광액에 대해서 연구하고 그걸 바탕으로 특허를 쓴다는 것은 당시에는 생각조차 할 수 없는 일이었죠. 

이제 20년이 지나서 옛기억을 되살려서 그때 하고 싶어도 하지 못했던 것, 개량특허를 작성하고 있는 현재의 모습을 보면서 복잡한 심정을 느낍니다. 

그런데, 감광액을 만드는 과정에서 아다만탄 유도체를 결합시켜야 합니다. 

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그림에서 보시는 바와 같이, (R1)p라고 명명한 알킬기를 결합합니다. 그런데 탄소 원자가 위치한 자리가 아닌 육각형 형태의 정중앙에 결합시키는 것처럼 보이실 겁니다. 

그것은 특정 탄소가 아닌 어떤 탄소와 결합해도 된다는 의미입니다. 이 의미를 알게 되기까지 몇 시간이나 하염없이 그림을 보면서 고민했는지 모릅니다. 알고 나면 아무것도 아닌데 말이죠. 

어제 글에서 특허 2건을 작성할 수 있는 것처럼 말했지만, 막상 작성해 보니까 겨우 하나를 월요일까지 끝낼 수 있을 것 같네요. 아다만탄 유도체를 포함한 감광액이 바로 그것입니다.

그러나 다른 하나는, 스미토모의 방향족 화합물이 포함된 감광액 및 신에츠의 방향족 화합물과 술폰산이 결합한 감광액이 있는데, 양쪽을 비교 분석한 후에 양쪽의 장점을 취하려면 좀 더 시간이 필요할 듯하네요.  

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