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원자현미경(AFM) 전문기업 파크시스템스가 '세미콘코리아 2025'에서 차세대 대형 샘플 원자현미경 'Park FX Large Sample AFM' 제품군을 처음 공개했다.  

2월19일 관련 업계에 따르면 이번 파크시스템스 제품군은 최대 300㎜ 웨이퍼까지 분석이 가능한 'Park FX300'을 비롯해 기존 원자현미경에 적외선 분광(IR Spectroscopy) 기술을 접목한 'Park FX300 IR', 'Park FX200 IR' 모델을 포함한다.  파크시스템스 관계자는 "고정밀 분석이 필요하지만 완전 자동화된 인라인 시스템 도입은 부담스러운 기업과 인라인 생산 이전에 원자현미경을 도입하려는 기업들을 겨냥해 최적의 솔루션을 제공하도록 설계했다"고 설명했다.  이번 제품군은 대형 웨이퍼 샘플 분석을 위한 첨단 성능과 업계 최상의 자동화 기능을 갖춘 것이 특징이다. 우선 Park FX300은 최대 300㎜ 웨이퍼 혹은 소형 샘플 16개까지 동시 장착해 분석할 수 있다. 열에 의한 드리프트를 최소화하고 정밀한 측정을 구현했다.  아울러 내장 카메라 및 QR 코드 시스템을 활용한 자동 탐침 교체 및 모니터링, 머신러닝 기반 정밀 레이저 및 광 검출기 자동 정렬 시스템, 다양한 위치에서 자동 순차 측정이 가능한 'StepScan' 기능을 강화해 연구자들이 샘플 측정만 집중할 수 있는 환경에서 전기적·기계적·자기적 등의 특성을 분석할 수 있도록 보장한다.  특히 'Park FX200 IR', 'Park FX300 IR' 모델은 원자현미경과 적외선 분광 기술을 결합해 나노 단위 분석을 지원한다. 광유도력 현미경(PiFM) 기능을 탑재해 고해상도 적외선 스펙트럼 분석이 가능하다. 기존 적외선 해상도 한계를 수천 배까지 확장해 5㎚ 이하 초고해상도로 소재 분자 구조와 화학 결합 정보를 정밀하게 분석할 수 있다.  이를 통해 샘플 표면을 손상시키지 않으면서 반도체와 폴리머, 생명과학 소재 화학 조성을 정밀하게 연구할 수 있다. 특히 반도체 결함 분석, 고분자 연구, 차세대 신소재 개발 분야에서 성능을 발휘할 것으로 기대된다. 

BNK투자증권은 2월6일 파크시스템스(140860)에 대해 올해도 수주 증가가 기대된다며 목표주가를 26만원에서 30만원으로 15% 상향 조정했다. 투자의견은 매수를 유지했다. 

이민희 BNK투자증권 연구원은 “작년 4분기 매출액은 633억원으로 전년 동기 대비 39% 증가해 컨센서스 대비 5% 상회했으나, 영업이익은 성과급 영향으로 165억원을 기록해 같은 기간 68% 늘어 예상 수준이었다”고 분석했다.  

이민희 연구원은 “수주잔고는 600억원으로 추정되며, 연말 잔고로는 사상 최대치”라며 “지난해 3분기에도 NX-Wafer(반도체용) 위주로 수주를 받았으며, 중국 외에 타 지역 수요도 컸던 것 같다”고 설명했다.  

이 연구원은 “작년 신규 수주는 1775억원으로 전년 대비 16% 늘어난 것으로 추정되며, 올해도 2095억원으로 전년 대비 18% 증가를 예상한다”며 “계절적으로 1분기 수주가 가장 큰데, 올해 1월 중국 고객으로부터 수주활동도 호조를 보여 출발이 좋다”고 진단했다.  

그는 “작년 해외 메이저 반도체 고객사로부터 후공정(Advanced Packaging) 장비를 여러대 수주 받았는 데 올해도 수주 증가 기대가 크다”며 “또 작년에도 NX-마스크, 하이브리드 WLI 고가 장비 여러 대를 수주 받았고 메이저 반도체 고객사들이 그동안 테스트를 마치고 본격 발주를 시작했다는 측면에서 올해 추가 수주 가능성은 커 보인다”고 판단했다. 

원자현미경에 주력하는 파크시스템스가 지난해에도 사상 최대 실적 행진을 이어갔다.

파크시스템스는 지난해 실적을 집계한 결과 매출액이 전년 1448억원보다 21% 늘어난 1751억원이었다고 2월4일 밝혔다. 같은 기간 영업이익은 39% 증가한 384억원이었다. 이익률은 22%였다.

파크시스템스 관계자는 "반도체 공정 미세화와 함께 새로운 애플리케이션 등장에 따라 원자현미경 수요가 꾸준히 증가하면서 사상 최대 실적 경신이 가능했다"고 말했다.파크시스템스는 사물을 나노미터(㎚, 10억분의 1m) 단위로 정밀하게 측정할 수 있는 원자현미경 사업에 주력한다. 특히 원자현미경은 반도체 회로선폭이 ㎚ 단위로 미세화하면서 국내외 유수 반도체 기업들 사이에서 반도체 검사를 위해 도입이 활발히 이뤄지는 추세다.이런 이유로 파크시스템스는 지난 2023년 당시 글로벌 반도체 경기 침체에도 불구하고 매출액 1453억원을 올리며 사상 최대 실적을 갈아 치우기도 했다. 지난해에는 반도체 경기 반등과 함께 또 한 번 최대 실적을 경신할 수 있었다.증권가에서는 파크시스템스가 올해도 최대 실적 경신을 예상하고 있다. iM증권은 파크시스템스가 올해 매출액 2010억원, 영업이익 502억원을 올릴 것으로 내다봤다. 송명섭 연구원은 "반도체 하락 사이클이 시작되는 올해도 실적 성장 흐름을 보일 것"이라고 말했다.한편 파크시스템스는 지난달 디지털 홀로그래픽 현미경(DHM) 사업을 운영하는 스위스 린시테크를 인수하며 광학계측 분야에서 영역을 확장했다. 앞서파크시스템스는 지난 2022년 이미지 분광 타원계측(ISE) 기술을 보유한 독일 아큐리온을 인수하기도 했다.

작년 매출액은 1750.61억으로 전년대비 21% 증가. 영업이익은 384.45억으로 39% 증가. 당기순이익은 431.41억으로 76% 증가. 

파크시스템스가 유럽 업체 인수를 통해 광학계측 사업 영역을 확장했다.  파크시스템스는 '디지털 홀로그래픽 현미경(DHM)' 사업을 운영하는 스위스 린시테크를 인수했다고 올 1월6일 밝혔다. 린시테크는 지난 2003년 스위스 로잔 연방공과대학(EPFL) 연구진이 설립한 업체로 DHM 기술 연구·개발 및 상업화를 선도해왔다.  린시테크가 보유한 DHM 기술은 홀로그램을 활용해 샘플의 3차원(3D) 정보를 스캔 없이 전체 시야에서 빠르게 얻을 수 있는 혁신적인 방식이다. 기존 간섭계 기반 광학 프로파일링보다 100배 이상 빠르게 이미징 속도를 제공한다.  아울러 DHM 제품은 크기가 작아 연구 및 산업 생산 환경에서 활용하기 쉽다. 재료과학과 생명과학, 멤스(MEMS), 제조업 등 다양한 분야에서 높은 정밀도와 효율성을 인정받고 있다.  파크시스템스는 앞서 지난 2022년 독일 계측장비회사 아큐리온을 인수했다. 아큐리온은 '이미지 분광 타원계측(ISE)' 분야에서 독보적인 기술력을 보유했다. 이번에 스위스 린시테크까지 인수하면서 기존 '원자현미경(AFM)'에 이어 광학계측 사업 영역을 한 단계 더 확장했다.  박상일 파크시스템스 대표는 "린시테크 인수는 반도체 공정 전반에 걸쳐 포괄적인 광학계측 솔루션을 제공하는 글로벌 리더로 나아가는 데 중요한 전환점이 될 것"이라며 "AFM 기반 플랫폼에 DHM 기술을 더해 완전 자동화된 DHM 시스템을 개발하고, 이를 어드밴스드 패키징을 포함한 다양한 반도체 응용 분야에 적용할 계획"이라고 말했다.  한편 경기 수원에 본사를 둔 파크시스템스는 AFM 업계 세계 1위 자리에 올라 있다. 2015년 12월 코스닥 시장에 상장한 이래 연평균 30% 수준 고성장을 이어간다.  파크시스템스는 해외 수출을 확대하기 위해 미국과 독일, 영국, 중국, 대만, 일본 등에 판매 법인을 자회사로 운영하며 현지에서 영업 활동을 강화하는 중이다. 전 세계 11개국에 12개 현지 법인을 운영하는 한편, 30개국에 판매망을 구축했다.

세계 반도체 기업들이 파크시스템스 원자현미경(AFM)에 러브콜을 보내고 있다. AFM이 차세대 패키징 기술인 하이브리드 본딩 공정에서 필수 검사장비로 부상하고 있기 때문이다.

지난 12월13일 조상준 파크시스템스 전무는 디일렉 인터뷰에서 “하이브리드 본딩을 준비하고 있는 주요 반도체 기업들과 원자현미경(AFM)의 도입을 위해 논의 중”이라며 “일부는 테스트 장비를 도입한 상황”이라고 말했다.

하이브리드 본딩을 준비하는 기업은 삼성전자, SK하이닉스 등을 비롯해 대만의 TSMC, 미국의 마이크론, 일본의 키옥시아 등이 있다. 하이브리드 본딩은 범프나 와이어가 기판과 칩을 연결하는 방식이 아닌 구리와 구리가 직접적으로 연결되는 방식이다. 데이터 입출력(I/O) 갯수를 기하급수적으로 늘려 칩의 성능을 고도화하기 위한 방법이다. 

기술의 성공은 평탄화 작업(CMP)에 달렸다. 면과 면이 얼마나 잘 밀착되느냐가 기술의 성패를 가르기 때문이다. 여기서 AFM의 탐침이 웨이퍼나 다이 위를 훑으며 평탄화 정도를 정밀하게 분석해준다. AFM은 빛이나 전자 등을 이용해 대상을 간접적으로 측정하는 기존의 현미경들과 달리, 탐침을 이용해 대상을 직접 측정한다. 촉각을 극대화해 나노 단위의 초근접 거리에서 전기적∙자기적 성질 등을 계측한다. ‘제3세대 현미경’으로도 불린다.

조 전무는 “AFM은 아직 초기 단계에 불과한 상태”라며 “향후 개발할 수 있는 분야가 무궁무진하다”고 말했다. 하이브리드 본딩뿐만 아니라 응용처가 크게 늘어날 수 있다는 것이다.

현재 납품되는 AFM 중 연구용이 차지하는 비율은 3분의 1, 산업용은 3분의 2다. 조 전무는 ”하이브리드 본딩 장비 관련 매출은 내년부터 본격 반영될 것”이라며 “초기 비중은 크지 않을 수 있지만 꾸준히 증가해 3년 내 전체 매출의 40% 이상을 차지할 것으로 본다”고 내다봤다.

파크시스템스는 1997년 설립됐다. 세계 최초로 AFM을 상용화한 박상일 박사가 대표이사로 자리한다. 탄탄한 원천기술은 반도체 업황 영향으로 장비사들에 미치는 보릿고개에도 끄떡없다. 올해 3분기 매출은 414억, 영업이익은 87억이다. 전년 동기 3분기 매출은 324억원, 영업이익은 55억원이다. 각각 28%, 58% 올랐다.

조 전무는 “올해 매출은 1700억원 규모로 예상된다”며 “현재 매출 대비 약 13%를 R&D에 투자 중"이라며 "지속적인 연구개발(R&D)을 통해 계속해서 기술 격차를 벌릴 것”이라고 말했다.

CTT리서치는 작년 7월4일 파크시스템스에 대해 전공정에 이어 후공정에서도 수요 증가로 매출 다변화 기대되며, 하반기 산업용 매출 증가가 중요한 핵심이 될 것이라고 분석했다.

CTT리서치에 따르면 원자 현미경을 개발, 생산하며 산업용과 연구용을 판매하는 기업이다. 매출 비중은 산업용 72%, 연구용 22%, 기타 6% 순서이며, 91%가 해외에서 발생하고 있다. 산업용 원자 현미경 시장 참여자는 동사와 미국 생명과학 장비사 브루커(Bruker) 뿐이고, 동사가 시장점유율 약 80%를 차지하며 독보적인 위치를 점하고 있다.

CTT리서치는 "산업용 매출의 85% 이상을 차지하고 있는 엔엑스 웨이퍼(NX-Wafer) 장비는 웨이퍼의 표면 결함과 CMP(반도체 표면을 화학적·기계적 방법으로 평탄화하는 작업) 후 조도 측정 등의 역할로 반도체 전공정에서 주로 사용되고 있다"라며 "2021년 중화권 반도체 고객사들의 미세공정 투자확대에 따라 전공정 라인에 본격적으로 도입되면서 큰 폭의 실적 성장이 나타났다"라고 전했다.

더불어 "최근에는 NX-Wafer 및 NX-Hybrid WLI 장비가 2.5D, 3D 패키징 등 후공정 라인에도 도입되며 수요가 늘어나고 있어 장비별 매출 다변화가 기대된다"라고 덧붙였다.

CTT리서치는 "5월 중순 수주잔고는 약 870억 원이며, 상저하고의 수주 계절성을 볼 때 작년 수주 1500억 원을 넘어설 것으로 예상한다"라며 "무엇보다 산업용 원자 현미경의 가격이 연구용 대비 10배 이상 높고, 매출총이익률(GPM)도 70% 이상으로 높아 산업용 매출 증가는 동사의 영업이익 증가를 가파르게 하는 요인으로 작용한다"라고 밝혔다.

아울러 "극자외선(EUV) 마스크 리페어 장비인 엔엑스 마스크(NX-Mask) 는 대만 T사의 요청으로 개발을 시작했고, 수주와 매출은 국내 S사향으로 먼저 발생해 S사의 EUV 추가 투자에 맞춰 신규 수주도 늘어날 것으로 기대된다"라며 "다만, EUV 펠리클을 적용하고 있는 T사향 수주가 미미하고 적용 전인 S사향 수주가 더 많았다는 점을 고려해 볼 때 향후 S사의 EUV 펠리클 도입 시 NX-Mask 장비 수요 증가는 현재의 시장 기대보다 약할 것으로 예상한다"라고 내다봤다.

2023년 연결기준 매출액은 1448.06억으로 전년대비 16.29% 증가. 영업이익은 275.60억으로 15.58% 감소. 당기순이익은 245.62억으로 12.23% 감소. 

첨단 나노계측장비인 원자현미경(Atomic Force Microscope)을 개발, 생산하여 전 세계에 판매하는 기술벤처기업. 수원 본사를 비롯해 미국, 일본, 싱가폴, 독일, 인도, 대만에 7개의 해외 자회사와 중국, 멕시코, 프랑스, 영국 등에 4개의 연락사무소를 운영하고 있으며, 전 세계 30~34개국에 판매망을 구축. 최대주주는 박상일 외(32.81%). 

2022년 연결기준 매출액은 1245.22억으로 전년대비 46.07% 증가. 영업이익은 326.48억으로 85.70% 증가. 당기순이익은 279.84억으로 208.02% 증가. 

2015년 12월21일 7300원에서 바닥을 찍은 후 올 1월22일 250000원에서 최고가를 찍고 밀렸으나 3월11일 181300원에서 저점을 찍고 등락ㅇ르 보이는 가운데 저점과 고점을 높혀오는 중으로, 이제부턴 밀릴때마다 물량 모아둘 기회로 보여집니다.

손절점은 203500원으로 보시고 최대한 저점을 노리시면 되겠습니다. 212000원 전후면 무난해 보이며 분할매수도 고려해 볼수 있겠습니다.목표가는 1차로  233500원 부근에서 한번 차익실현을 고려해 보시고 이후 눌릴시 지지되는 저점에서 재공략 하시면 되겠습니다. 2차는 257000원 이상을 기대 합니다.

감사합니다.